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半导体&纳米技术

帮助创新的开发,过程控制和监控作为技术节点缩小和设备变得更加复杂

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高级逻辑

随着逻辑设备变得更加复杂,随着FinFET,纳米片和其他结构的这种创新,计量需要增加了。我们的解决方案启用了这些设备的开发和生产坡道,包括组合HRXRD和XRR测量对于复杂的3D EPI和AFM测量的纳米片形状。

先进的力量(Gan&SiC)

Bruker HRXRD / XRR系统是首选系统,用于表征SI和SIC上的GAN等先进电力系统。它们用于全球生产线,用于测量薄膜厚度,组成和质量,以确保Bruker客户的高收益率。

高级内存

在所有设备中发现不同品种的内存,从电话到笔记本电脑和高端服务器。这些范围从DRAM,3D-NAND和更多的后期相变内存(如xpoint)和MRAM。Bruker使用一系列X射线系统和技术来表征薄膜的关键参数:从厚度,组合物到形状轮廓。

缺陷和污染

Bruker(先前的Bede和Jordan Valley)是开创性的X射线衍射成像(XRDI),以识别导致晶片破损的缺陷。这已经扩展到其他可以影响产量的基材中的缺陷。Bruker还提供TXRF系统,用于鉴定Si和SiC基材上的金属污染,以生产线产量至关重要。

显示和触摸面板

Bruker提供出色的触摸面板和显示器制造生产计量

电子元件(RoHS)

控制集成电路和电子元件的组成和厚度是提高其可靠性和功率效率的关键。Bruker提供快速和非破坏性的分析解决方案,以确定装置及其层组合物和厚度,在筛选有害物质时也需要。必威手机客户端

Opto LED

Bruker的元素分析仪,光学和AFM和X射线计量溶液提供精确可重复测量EPI层,图案化的蓝宝石基板和光电器件。我们的设备配备了先进的自动化功能,提供了最佳生产监控和新设备开发所需的关键答案。

RF设备

RF设备位于最新5G通信设备的核心。Bruker通过XRD提供X射线计量,以表征EPI薄膜,以及Baw / Saw过滤器所需的压电材料中使用的材料相和组合物。必威手机客户端

半导体研发

Bruker的FT-IR仪器在全球范围内使用,以表征和调查新的半导体材料。必威手机客户端实施例是关于声子谱,IR光致发光,异质结构和带间隙的研究。

太阳的

Bruker的精密计量燃料太阳能研究和过程控制

晶圆级包装

Bruker拥有一系列用于晶圆级包装的系统。可以使用Micro-XRF来实现对凸块金属的单个凸块和厚度的组成测量。