半导体和纳米技术

高级功率(GaN & SiC)

先进的能力

Bruker HRXRD / XRR系统是先进电力系统(如Si和SiC上的GaN)的首选表征系统。它们在世界各地的生产线上用于测量薄膜厚度、成分和质量，以确保布鲁克客户的高产量。

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先进的能力

GaN on Si功率器件的计量

一套完整的用于氮化镓硅应用的计量系统已经开发出来。

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先进的能力

Sic Defectivity

x射线衍射成像(XRDI，也称为x射线形貌学)和微xrf用于成像和可视化晶体缺陷，否则完美(或接近完美)衬底。

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