半导体和纳米技术

先进的内存

先进的内存

从手机到笔记本电脑和高端服务器，所有设备都有不同种类的内存。这些产品包括DRAM、3D-NAND以及后期的相变存储器(如XPoint)和MRAM。Bruker使用一系列x射线系统和技术来表征薄膜的关键参数:从厚度、成分到形状轮廓。

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先进的内存

膜结晶度

在高级存储器中，金属/氮化膜的晶体性能是器件性能的关键。

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PC RAM的厚度和组成

大多数新兴记忆都是一堆复杂的多元素结构。Sirius-RFµXRF允许在线成分监测计量垫或设备区域。快速会聚束XRR可以在1-2秒内测量每一点的厚度。

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