BAW/SAW滤波器相位和组成

多晶薄膜的物相对性能至关重要。XRD是能够在PZT和其他多晶薄膜上测量这一点的既定技术。通过使用JVX7300L，PZT薄膜的结晶度可以自动测定并绘制在基板上，以监控生长过程。

JVX7300L还具有可选的XRF通道，可在同一工具上绘制PZT的成分，从而提高生产率和产量。

JVX系列工具以SECS-GEM和自动报告为标准，能够快速反馈关键流程信息。

钛酸锆铅（PZT）等多晶压电陶瓷薄膜的性能由其晶相和微观结构决定，这些关键参数可以通过X射线衍射（XRD）获得。
XRD是一种非常强大的非破坏性分析技术，用于多晶薄膜和粉末的相识别、定量和微观结构分析。

D8发现和D8预付款是Bruker的实验室衍射解决方案，结合了最高的粉末衍射性能和易用性。它们非常适合于研究、工艺开发和生产控制中多晶薄膜的表征。