钝化层

各种样品/晶片夹持器可用于透射率、反射率或ATR测量模式，以研究不同厚度的钝化层。

例如，硼和磷磷硅酸盐玻璃（PSG）和硼磷硅酸盐玻璃（BPSG）可通过中红外区域的透射率测量，使用合适的校准进行表征和量化。

用于研究系列FT-IR光谱仪的专用晶圆映射附件允许自动采集不同样品位置的反射光谱和透射光谱。

它可以同时进行BPSG层的层厚评估和定量分析，并已在QC中得到广泛认可。由于Bruker创新的晶片ATR附件，即使是像SiN等离子体层、超低k层或单晶硅上的自组装单分子层这样的超薄层也可以以最高的灵敏度进行分析。想知道更多吗？