硬质涂层的纳米压痕入门课程

纳米压痕是一种广泛应用于测量小尺度机械性能的技术，包括薄膜和涂层。在这里，测量工具涂层的技术是彻底详细的，从开始到结束。这些PVD和CVD涂层作为一个例子，结合寻找粗糙度，厚度和非凡的硬度要求之间的平衡。

关于如何执行纳米压痕技术，有许多需要考虑的问题，入门用户不能立即理解。从一开始，在一个简单的基体上的硬度和模量的测量被提出。然而，测量真实的样本很少符合这个理想。然后通过测量有限粗糙度和涂层厚度的样品来引入偏离这个理想的偏差。从本质上说，这些复杂性是相互冲突的，因为增加测量深度将减轻粗糙度的影响，但将逐渐给出涂层和底层工具基板的混合响应。因此，选择最佳深度对于获得准确的刀具涂层测量是很重要的。介绍了四种不同的市售氮化涂料的结果。