ARGUS FSE/BSE成像系统

FSE/BSE探测器安装在eFlash屏幕上方和下方

eFlash EBSD探测器可选择与ARGUS™预混电子(FSE)和后向散射电子(BSE)成像系统。这进一步增加了探测器的通用性,并为有意义和高效的微观结构表征提供了有价值的额外信息。

两个疯牛病探测器安装在EBSD探测器的屏幕上方。三个FSE探测器在屏幕下方。检测器的这个位置不会影响eFlash的性能或用户友好性,屏幕仍然是用户可更换的。FSE/BSE探测器操作所需的所有电子设备都已经包含在eFlash+探测器外壳中。除了方便之外,这也确保了信号损失最小,因为前置放大器接近探测器。

BSE探测器改善图像质量

由于EBSD模式下样品倾斜较大,标准SEM SE和BSE检测系统容易产生低质量的噪声图像。ARGUS™BSE探测器的位置最佳,以获取高倾角样品的BSE信号。这包括屏幕上方的位置和对样品的倾斜,这两者都确保最佳的信号强度。此外,EDS检测器可以适合于BSE检测器之间,为同时采集EDS和EBSD提供最好的条件。产生的信号可以单独使用或与FSE探测器的信号混合使用。

与ARGUS™FSE探测器的彩色定向对比度图像

放置在荧光屏下方的三个ARGUS™FSE探测器分别捕获高度各向异性的衍射散射信号(菊池模式)的不同部分。这使得ARGUS系统能够检测到多晶样品扫描时由于方向变化而产生的最轻微的信号变化。使用颜色编码(RGB)来显示信号,即使是非常小的方向变化,人眼也可以看到。该功能是ARGUS™系统所独有的。(有关这项技术的更多细节,请参阅a.p. Day等人,《显微镜杂志》,第195卷,第3页,1999年9月,第186-196页。)

信号优化是快速和全自动的,因为它完全集成到精灵软件.FSE信号也可以与BSE信号结合。

ARGUS™图像具有科学和实际的应用。