内置ARGUS成像系统的STEM扫描电镜能力

全视神话巨人ARGUS回来了

和它的前辈一样,OPTIMUS 2检测器头已设计内置百眼巨人TM系统提供扫描电镜成像能力的STEM。OPTIMUS 2的前端有三个硅二极管,屏幕中央有一个硅二极管,它提供:

  • 暗场(DF)样成像
  • 在TKD定位时的亮场(BF)样成像
  • 成像速度高达12.5万像素/秒
  • 全自动信号优化,创建图像与无与伦比的质量和细节

这种新型的bf类成像能力尤其适用于绘图过程中的漂移校正,以及动态实验中样品的近实时可视化,如原位拉伸测试、加热和电子透明样品的电偏置。

2.8万像素df样图(左)和在非晶硅₃N₄薄膜上沉积的20 nm金薄膜突出区域的放大图,显示亚10 nm退火孪晶。图像在66秒内获得,探头电流为800 pA,加速电压为30 kV。主图和放大图中的比例尺分别代表400 nm和50 nm。