金属切削工具使用WC-Co(富含钴基体的碳化钨)等硬质合金和不同的CVD和PVD涂层,以提高表面硬度、刚度和耐磨性。这些涂层主要是过渡金属氮化物和碳化物,如TiN、TiC、ZrN、VN、TiCN、TiAlN。
本例中为TiC/N和Al2O3.WC-Co层上的层是用EDS映射的。F搞笑。1为刀具刃口聚焦离子束(FIB)截面。最上层是TiN涂层,其次是Al涂层2O3./TiN/TiCN/TiN和WC-Co为基材。与EDS,我们可以区分TiN、TiCN和TiN层间N成分的变化(图2)。思捷环球Bruker的分析软件能够自动解旋强烈重叠的Ti和N(图4)。