碳化钨刀具用TiCN硬质涂层

金属切削工具使用WC-Co(富含钴基体的碳化钨)等硬质合金和不同的CVD和PVD涂层,以提高表面硬度、刚度和耐磨性。这些涂层主要是过渡金属氮化物和碳化物,如TiN、TiC、ZrN、VN、TiCN、TiAlN。

本例中为TiC/N和Al2O3.WC-Co层上的层是用EDS映射的。F搞笑。1为刀具刃口聚焦离子束(FIB)截面。最上层是TiN涂层,其次是Al涂层2O3./TiN/TiCN/TiN和WC-Co为基材。与EDS,我们可以区分TiN、TiCN和TiN层间N成分的变化(图2)。思捷环球Bruker的分析软件能够自动解旋强烈重叠的Ti和N(图4)。

图1:碳化钨刀具上不同涂层的EDS图和SE图,采用聚焦离子束铣削(FIB)对表面进行抛光。
图2:显示Ti、C和N分布的EDS图,从左起:TiN/TiCN/TiN和TiC。EDS可以很容易地分辨出C、N等轻元素的组成变化。
图3:超硬切削工具中WC基材和Co粘结剂的EDS图。
图4:使用ESPRIT分析软件对Ti和N进行自动反褶积和定量。