电子显微镜分析仪

Quantax Micro-XRF

痕量元素敏感性,具有最小的样品制备

即使在大面积上也是高速元素X射线映射

薄膜厚度分析

xtrace_frei_2048px.

强调

10 ppm.
检测极限
由于较低的光谱背景,启用跟踪元素分析
4毫米/秒
旅行速度
可选的快速阶段使高速绘图能够超过大面积
1nm - 40μm
层厚度范围
可以分析从1 nm开始的薄膜,可以分析40μm的多层结构

Micro-XRF作为SEM中的EDS分析的互补分析技术

  • 微X射线荧光(微XRF)光谱分析是使用扫描电子显微镜(SEM)的传统能量分散光谱(EDS)分析的互补的非破坏性分析技术。这种分析对于在从大厘米尺寸的不均匀样品中缩小到小微米颗粒的未知样品中的元素组合物的表征是重要的。
  • X射线激励产生微量元素检测的更高灵敏度(低至低于10 ppm.对于某些元素),扩展X射线光谱范围(高达40 kev),以及来自样本内更深度的信息。
  • 配备X射线管与微聚焦X射线光学元件相结合,产生的小点尺寸30μm.强度吞吐量高。
  • 专门设计用于安装在现有SEM阶段的模块化的压电阶段,使大型区域的高速元素X射线映射“在飞行中”速度高达速度4毫米/秒。这使得能够通过50×50mm(或更高)的样本大小获取X射线映射数据,并在快速和用户友好的情况下将光元素光谱数据以及跟踪元件和/或更高的能量X射线数据。工作流程。
  • 较大深度的X射线激励允许开始的多层系统的表征1nm和高达40μm,电子激发是不可能的。

好处

使用Micro-XRF和快速阶段扩展您的SEM分析功能

  • 双光束电位,电子束和X射线束,其为材料表征提供了新的可能性 - 与两个来源同时调查样品。
  • 使用相同的检测器用于同时电子束/微XRF采集,包括光元素光谱数据以及跟踪元件和/或更高的能量X射线数据。
  • xtrace和快速阶段无缝集成在ESPRIT软件
  • 组合EDS和MICR-XRF定量通过将电子激发的更好的光元素灵敏度与XRF的更好的微量元素灵敏度相结合,使得更完整的样本表征。
  • 用微XRF和电子束激励同时映射,将来自两个世界的优点相结合。使用微XRF使用电子束和较重元素激发光元素(碳氢)。
  • 单独的峰和扩展光谱范围使能力能够看到高能k线,因为它们不太复杂,更少重叠。
  • 最小样品准备 - 无导电样品表面,无需广泛抛光
  • 标准和基于标准的量化。

应用程序

即使在μm级别的低浓度水平下也掺入光和重元素

来自智利的El Tesoro矿的异国CU样品。

矿物学样本的大面积映射

新的快速阶段专门为SEM设计,使大面积映射超过毫米(mm)到厘米(cm)尺度。这将消除与低放大率映射相关的潜在的SEM X射线强度变化伪像,从而在以前不可能的不间断的庄园中增强元素和矿物学信息。
异国情调的Cu沉积物样品的大面积图。

Exotic-Cu沉积物中的元素和矿物分布

观察样本内的元素变化的能力对于了解地质过程和矿石沉积创世纪非常重要。在SEM上包含微XRF的双源系统使得元素X射线映射在大面积上,显示PPM刻度上的主要,次要和还有痕量元素。
来自卡朗班腾金矿的样本在新西兰。

用于勘探和采矿的双源应用:携带肛周样品

Micro-XRF与SEM的组合使得能够在多个刻度下分析样品,从厘米(cm)到毫米(mm)到微米(μm)和下面的孤立系统。因此,通过将Micro-XRF添加到SEM,将SEM转换为双源系统,这意味着有2个激励源,电子束和光子束。源源可以单独使用,或同时使用,生成将使用相同的EDS检测器测量的样本X射线。
含有钻石欧虫的大面积图。

地幔岩石学和钻石来源

我们展示了来自钻石纽伦兹金伯利特(南非,Kaapvaal Craton)的Mantle Garnet-Spinel Peridotite的SEM-XRF元素图。各种元素的强度表示样品中存在的某些矿物质。
土壤样品的大面积地图。

鉴定土壤中的污染物和毒素

使用SEM-XRF的大面积映射(Hypermaps)可以在具有形貌的样本上执行。也就是说,需要最小的样品制备,并且可以直接分析样品而不会进行任何劣化。这在对土壤的分析中特别相关,其中任何形式的样品制剂如安装和抛光或碳涂层,都可以改变样品。
CIGS结构

具有SEM Micro-XRF的薄膜分析

由于X射线可能通过物质,X射线荧光(XRF)允许确定层厚度。在SEM上使用Micro-XRF,层分分析(厚度和组成)在微米刻度下具有空间分辨率可行。层分析基于使用原子基础参数(FP)的量化。

配件

快速阶段

快速阶段可以安装在SEM阶段的顶部,以便在大型样本区域上快速绘图。