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电子显微镜分析仪
Quantax Micro-XRF
痕量元素敏感性,具有最小的样品制备
即使在大面积上也是高速元素X射线映射
薄膜厚度分析
强调
10 ppm.
检测极限
由于较低的光谱背景,启用跟踪元素分析
4毫米/秒
旅行速度
可选的快速阶段使高速绘图能够超过大面积
1nm - 40μm
层厚度范围
可以分析从1 nm开始的薄膜,可以分析40μm的多层结构
Micro-XRF作为SEM中的EDS分析的互补分析技术
微X射线荧光(微XRF)光谱分析是使用扫描电子显微镜(SEM)的传统能量分散光谱(EDS)分析的互补的非破坏性分析技术。这种分析对于在从大厘米尺寸的不均匀样品中缩小到小微米颗粒的未知样品中的元素组合物的表征是重要的。
X射线激励产生微量元素检测的更高灵敏度(低至低于
10 ppm.
对于某些元素),扩展X射线光谱范围(
高达40 kev
),以及来自样本内更深度的信息。
配备X射线管与微聚焦X射线光学元件相结合,产生的小点尺寸
30μm.
强度吞吐量高。
专门设计用于安装在现有SEM阶段的模块化的压电阶段,使大型区域的高速元素X射线映射“在飞行中”速度高达速度
4毫米/秒
。这使得能够通过50×50mm(或更高)的样本大小获取X射线映射数据,并在快速和用户友好的情况下将光元素光谱数据以及跟踪元件和/或更高的能量X射线数据。工作流程。
较大深度的X射线激励允许开始的多层系统的表征
1nm和高达40μm
,电子激发是不可能的。
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快速阶段
好处
使用Micro-XRF和快速阶段扩展您的SEM分析功能
双光束电位,电子束和X射线束,其为材料表征提供了新的可能性 - 与两个来源同时调查样品。
使用相同的检测器用于同时电子束/微XRF采集,包括光元素光谱数据以及跟踪元件和/或更高的能量X射线数据。
xtrace和
快速阶段
无缝集成在
ESPRIT软件
。
组合EDS和MICR-XRF定量通过将电子激发的更好的光元素灵敏度与XRF的更好的微量元素灵敏度相结合,使得更完整的样本表征。
用微XRF和电子束激励同时映射,将来自两个世界的优点相结合。使用微XRF使用电子束和较重元素激发光元素(碳氢)。
单独的峰和扩展光谱范围使能力能够看到高能k线,因为它们不太复杂,更少重叠。
最小样品准备 - 无导电样品表面,无需广泛抛光
标准和基于标准的量化。
阅读更多关于ESPRIT 2软件的更多信息
应用程序
即使在μm级别的低浓度水平下也掺入光和重元素
矿物学样本的大面积映射
新的快速阶段专门为SEM设计,使大面积映射超过毫米(mm)到厘米(cm)尺度。这将消除与低放大率映射相关的潜在的SEM X射线强度变化伪像,从而在以前不可能的不间断的庄园中增强元素和矿物学信息。
阅读更多
Exotic-Cu沉积物中的元素和矿物分布
观察样本内的元素变化的能力对于了解地质过程和矿石沉积创世纪非常重要。在SEM上包含微XRF的双源系统使得元素X射线映射在大面积上,显示PPM刻度上的主要,次要和还有痕量元素。
阅读更多
用于勘探和采矿的双源应用:携带肛周样品
Micro-XRF与SEM的组合使得能够在多个刻度下分析样品,从厘米(cm)到毫米(mm)到微米(μm)和下面的孤立系统。因此,通过将Micro-XRF添加到SEM,将SEM转换为双源系统,这意味着有2个激励源,电子束和光子束。源源可以单独使用,或同时使用,生成将使用相同的EDS检测器测量的样本X射线。
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地幔岩石学和钻石来源
我们展示了来自钻石纽伦兹金伯利特(南非,Kaapvaal Craton)的Mantle Garnet-Spinel Peridotite的SEM-XRF元素图。各种元素的强度表示样品中存在的某些矿物质。
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鉴定土壤中的污染物和毒素
使用SEM-XRF的大面积映射(Hypermaps)可以在具有形貌的样本上执行。也就是说,需要最小的样品制备,并且可以直接分析样品而不会进行任何劣化。这在对土壤的分析中特别相关,其中任何形式的样品制剂如安装和抛光或碳涂层,都可以改变样品。
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具有SEM Micro-XRF的薄膜分析
由于X射线可能通过物质,X射线荧光(XRF)允许确定层厚度。在SEM上使用Micro-XRF,层分分析(厚度和组成)在微米刻度下具有空间分辨率可行。层分析基于使用原子基础参数(FP)的量化。
阅读更多
配件
快速阶段
快速阶段可以安装在SEM阶段的顶部,以便在大型样本区域上快速绘图。
网络研讨会
网络研讨会
2020年4月30日
使用快速阶段的大面积SEM映射
使用SEM的大面积映射可以通过标准SEM阶段的缓慢移动阻碍。
2019年11月6日
高速映射在SEM上使用Micro-XRF
快速阶段与Micro-XRF源一起运行,以令人印象深刻的速度获取元素和矿物学信息。
按需会议 - 63分钟
跟踪元素和矿化:组合Micro-XRF和SEMS / WDS的好处
在许多经济存款中,兴趣的元素或矿产是一种痕量组成部分。但是,识别这些元素和矿物质的能力取决于它们的发生方式。这些信息对于了解沉积物的成因以及矿物质和冶金方法是重要的,以产生最大恢复。
更多信息
资源和出版物
产品视频
第一部分 - 微XRF和SEM的快速阶段简介
第二部分 - 加载样品并进行测量
第三部分 - 分析测量数据集
小册子和应用笔记
Quantax Micro-XRF手册
快速舞台手册
电子显微镜分析仪手册
升级ESPRIT WIN10
应用笔记MXRF 05 - 合金钢中的MO分析
应用笔记MXRF 04 - 聚合物中金属痕迹分析
应用笔记MXRF 03 - 经认证铜合金分析
应用笔记MXRF 02 - EDS和Micro-XRF认证铜合金的元素检测比较
应用笔记MXRF 01 - 矿棉分析
出版物
2021 - 科学直接:用于分析大型MesoIrican黑曜石片的双光束SEM的EDS和微XRF方法
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