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职业生涯
电子显微镜分析

QUANTAX Micro-XRF

高度的元素灵敏度和最小的样品准备

高速元素x射线测绘,甚至在大面积

膜厚度分析

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突出了

10 ppm
检出限
由于低光谱背景,可以进行微量元素分析
4毫米/秒
旅行速度
可选的快速阶段可以实现大面积的高速测绘
1纳米- 40µ微米
层厚度范围
薄膜从1 nm到40µm的多层结构可以分析

Micro-XRF是SEM中EDS分析的补充分析技术

  • 微x射线荧光光谱分析(Micro- XRF)是传统的利用扫描电子显微镜(SEM)进行能量色散光谱(EDS)分析的一种补充非破坏性分析技术。这样的分析对于未知样品中元素组成的表征很重要,从大厘米大小的不均匀样品到小微米颗粒。
  • x射线激发对痕量元素的检测产生更高的灵敏度(低到10 ppm对于某些元素),扩展的x射线光谱范围(高达40kev),以及样本内部更深层的信息。
  • 配备了一个x射线管与一个微聚焦x射线光学产生小的光斑尺寸30µm高强度输送量。
  • 一个模块化的压电工作台,专门设计安装在现有的SEM工作台的顶部,能够在大范围内实现高速元素x射线测绘,速度可达4毫米/秒。这使得在50 x 50毫米(或更高)的样本大小的x射线测绘数据的获取成为可能,将轻元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量的x射线数据整合到一个快速和用户友好的工作流程中。
  • 更大的x射线激发深度允许表征多层系统从1 nm,范围可达40µm,这在电子激发下是不可能的。

好处

用Micro-XRF和Rapid Stage扩展你的SEM分析能力

  • 电子束和x射线束的双束势,为材料表征提供了新的可能性-同时研究两种源的样品。
  • 使用同一探测器同时进行e-beam/ micro-XRF采集,合并轻元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量x射线数据。
  • XTrace和快速的阶段无缝集成在精灵软件
  • 结合EDS和micro-XRF定量,将电子激发的更好的轻元素灵敏度与XRF更好的微量元素灵敏度相结合,可以得到更完整的样品表征。
  • 同时使用微xrf和电子束激励进行绘图,结合了两个世界的优势。用电子束激发轻元素(碳到钠),用微x射线荧光技术激发重元素。
  • 单独的峰和扩展的光谱范围使能看到高能量K线的能力,因为它们不那么复杂和较少重叠。
  • 最小的样品预处理-样品表面不导电,不需要大量的抛光
  • 无标准和基于标准的量化。

应用程序

即使在µm标度的低浓度水平,也包含轻元素和重元素

来自智利El Tesoro矿的奇异铜样品。

矿物学样品的大面积制图

新的快速阶段是专门为sem设计的,可以实现毫米(mm)到厘米(cm)尺度的大面积绘图。这将消除潜在的扫描电镜x射线强度变化与低放大率绘图相关的伪影,从而增强元素和矿物信息,这在以前是不可能的。
一个外来铜矿床样品的大面积地图。

外来铜矿床的元素和矿物分布

观察样品中元素变化的能力对了解地质过程和矿床成因很重要。双源系统在扫描电镜上集成了微xrf,可以在大片区域进行元素x射线映射,显示ppm级别的主要、次要和微量元素。
新西兰卡兰哈克金矿样品。

勘探和采矿的双重来源应用:含金低温热液样品

micro-XRF和SEM的结合使得在一个单独的系统中分析多个尺度的样品成为可能,从厘米(厘米)到毫米(毫米)到微米(µm)及以下。因此,通过将micro-XRF添加到扫描电镜上,你就把扫描电镜转换成双源系统,这意味着有两个激励源,电子束和光子束。这两种光源都可以单独使用,也可以同时使用,来产生样品x射线,这些x射线将使用同一个EDS探测器进行测量。
含金刚石榴辉岩的大面积地图。

地幔岩石学和钻石的来源

我们提供了一个来自南非的纽兰兹金伯利岩(Kaapvaal克拉通)的地幔石榴石尖晶石橄榄岩的SEM-XRF元素图。各种元素的强度表明了样品中存在的某些矿物质。
土壤样品的大面积地图。

土壤中污染物和毒素的鉴定

利用SEM-XRF可以对具有地形图的样品进行大面积测绘(Hypermaps)。也就是说,只需要最少的样品制备,样品可以直接分析而不需要任何的降解。这在土壤分析中特别相关,因为任何形式的样品制备,如安装和抛光或碳涂层,都可能改变样品。
香烟结构

用扫描电镜显微x射线荧光分析薄膜

由于x射线可以穿过物质,x射线荧光(XRF)可以确定层的厚度。利用扫描电镜上的显微x射线荧光分析,层分析(厚度和成分)是可行的空间分辨率在微米尺度。层分析是基于原子基本参数(FP)的量化。

配件

快速的阶段

Rapid Stage可以安装在SEM Stage的顶部,用于大样本区域的快速测绘。