的结合用扫描电镜micro-XRF能够在多个尺度上分析样品,从厘米(cm)到毫米(mm)到微米(µm)和更低的单独系统。因此,通过在扫描电子显微镜上添加微xrf,可以转化为双源系统,即有电子束和光子束两种激励源。这两种源都可以单独使用,也可以同时使用,产生样品x射线,使用相同的EDS探测器进行测量。此外,可以利用每种分析技术的好处:(i) XRF源具有非常低的背景,这意味着可以观测到10 ppm以下的元素浓度(依赖于元素和基质),以及更大的信息深度,这意味着可以看到样品表面下的结构或元素。例如,即使在浓度很低的情况下,地表以下的夹杂物也能被检测到;(ii)电子束可以聚焦到一个极小的区域并产生极高分辨率的信息。
这样的组合现在可以在单个系统中创建新的工作流。例如,可以使用微xrf快速扫描大型岩石样本,在这种情况下是来自Karangahake浅成热液矿床的含金样本。这使得识别包括含金晶粒在内的感兴趣区域成为可能(图1和2)。随后,可以使用电子束以更高的分辨率分析这些“感兴趣区域”(图3)。该双光束系统可以同时识别大尺度(cm到mm)的相关信息,从而可以高效、准确地进行小尺度(mm到µm)的详细信息。