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导电陶瓷材料硅化物用于微电子,例如微芯片。硅化物也可能在半导体材料中的耐火相中发生,例如Si晶片。必威手机客户端
为了在质量控制期间在微型和纳米水平上实现高空间分辨率,必须在低加速电压下进行分析,使这些相的鉴定复杂化。仅在低加速电压下产生严重重叠的钨M系列能量线。
主要元件的所得EDS峰略宽并掩盖第二阶段的存在。与此相反,诸如W的元素是用心识别的量化WDS由于其卓越的光谱分辨率。