半导体微芯片材料中的元素识别必威手机客户端

导电陶瓷材料硅化物用于微电子,例如微芯片。硅化物也可能在半导体材料中的耐火相中发生,例如Si晶片。必威手机客户端

为了在质量控制期间在微型和纳米水平上实现高空间分辨率,必须在低加速电压下进行分析,使这些相的鉴定复杂化。仅在低加速电压下产生严重重叠的钨M系列能量线。

主要元件的所得EDS峰略宽并掩盖第二阶段的存在。与此相反,诸如W的元素是用心识别​​的量化WDS由于其卓越的光谱分辨率。

在SDD的电子微芯片上获取SI和W的X射线元件分布图
用于1.6 - 2.0Kev的钨硅化物的X射线谱部分,显示为1.6 - 2.0 Kev的高频分辨率