克瑞奥斯

CryoSAS将Bruker的高性能FT-IR光谱仪与不需要任何液氦的内置闭合循环低温冷却技术相结合。所有CryoSAS组件都是最先进的，但利用成熟的技术在苛刻的硅生产环境中完成困难的分析。CryoSAS可在高自动化水平下运行，包括准确报告分析结果。

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特色包括：

高灵敏度：

CryoSAS根据ASTM/SEMI MF1630标准分析浅层杂质（如硼、磷等）至低ppta水平。此外，根据ASTM/SEMI MF1391标准，它同时分析低ppba水平的碳和氧。

闭式循环低温制冷系统：无需昂贵的液体制冷剂

用于探测器和样品室冷却的高可靠性闭式循环低温冷却系统。与液氦制冷系统相比，闭式循环系统每年可节省50000欧元的运行成本，甚至更多。

不锈钢样品室设计：
轻松获取样本

经验证的样品室设计，带有固定光学元件和自动样品头。样品室的大内径使样品架易于接近。

干式前置泵和涡轮泵：
简单清洁的真空系统操作

通过涡轮拖动泵和干式前置泵快速可靠地排空。

坚固、精密的步进电机工作台，带有九位样品架：

与样品架连接的坚固的翻译台允许进行多个样品分析。高扭矩电机和固体平移机构提供精确的样本索引和多年的可靠功能。样品易于安装和拆卸，样品架几乎可以轻松地安装在样品室中。样品架的镀金OFHC铜设计确保温度均匀。

易用性：

CryoSAS针对工业环境中的操作进行了优化。所有真空和制冷设备均由PLC控制。冷却必威东盟体育和开始测量是一个简单的按钮操作。用户不必是光谱学专家或真空专家。

专用CryoSAS软件旨在满足工业质量控制的需要。使用方便，可通过触摸屏进行操作。用户只需选择所需的分析方法，输入样本信息并按下开始必威东盟体育按钮。CryoSAS随后将自动冷却样品，开始红外测量，评估结果并创建分析报告。

规格

光谱范围：1500-280厘米^-1优化用于检测

• Ⅲ族和Ⅴ族浅杂质根据ASTM/SEMI MF1630，采用单晶硅。对于厚度约为。
  3 mm，可达到以下检测限值：
  -10 ppta磷
  -30 ppta硼
• 取代碳根据ASTM/SEMI标准
  MF1391。该方法要求无碳FZ参考样品的厚度和表面性质与样品相当。对于厚度约为3 mm的楔形样品，可检测到低至20 ppba的碳浓度。