SiBrickScan

获取有价值的信息以检查和优化产品质量

了解硅锭的氧梯度有助于得出重要的结论，例如，控制和优化硅结晶过程或识别不良原料批次。因此SBS将通过优化产品质量和减少不良晶圆的数量来帮助节省成本。对单个铸锭的随机抽样确实大大减少了样品制备工作，并更早地提供了相关信息。

最高灵敏度的最先进的FTIR光谱学

FT-IR光谱法(ASTM/SEMI 1188)是一种众所周知的重要分析方法，但仅限于低mm范围的薄硅样品。SiBrickScan (SBS)克服了这一限制，是第一个商用的完全专用系统，可以沿着主轴确定完全锭中的氧梯度，而不需要耗时和破坏性的薄样品制备。SBS智能地利用了相关的红外泛音吸收带，并结合了可靠和最先进的布鲁克FT-IR技术。

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不制备薄样品的间隙氧定量

SiBrickScan允许分析500毫米长的硅锭中的间隙氧。这些有价值的信息有助于优化结晶过程，以及在锯切前对单个锭进行鉴定。

高质量校准直接连接到ASTM/SEMI 1188

SBS氧气评估使用与ASTM/SEMI 1188直接相关/派生的校准。由于两种方法的相关性几乎是完美的，间隙氧浓度的评价是最高的精度。

最高的检测灵敏度与SBS

根据样品的形状和性能(例如电阻)，SBS可以达到间隙氧检测极限< 2ppma (< 10¹⁷/厘米^3.)．如果您对可行性测试测量感兴趣，请联系您当地的布鲁克代表。

针对不同锭类型的专用SBS版本

SBS可用于多晶或单晶标准方形光伏锭(截面~156 × 156 mm)²)以及直径~150毫米(6”)或~200毫米(8”)的圆柱形硅锭。可根据要求提供其他直径和形状的系统。

行业兼容和健壮的设计

一个强大和精确的线性驱动自动控制钢锭的测量位置:根据配置和钢锭类型，沿着钢锭轴可以实现~12毫米的空间氧分辨率。可靠安全的联锁机构排除了操作人员接触运动部件的风险。

直观和易于使用的软件界面

SiBrickScan (SBS)包含针对工业环境进行优化的专用直观图形用户界面。必威东盟体育普通生产工人也可以在几分钟内学会标准操作程序:简单地装入钢锭，选择所需的分析配方，并开始测量。测量本身将自动进行，包括数据评估。

创新的高灵敏度光束路径与包含的参考样品

独特和创新的红外光束路径，确保最高的测量灵敏度。仪器中已经包含了高质量的参考样品，参考测量是自动完成的。

可根据客户要求选择探测器

SBS可以与斯特林冷却探测器一起使用，独立于液氮运行。可选的SiBrickScan也可以订购液氮冷却探测器，包括自动补水装置。