维边缘PSS
是LED衬底和外延制造商的理想计量和检测系统
突出了
维边缘PSS
Bruker's Dimension Edge™PSS原子力显微镜与AutoMET™计量软件是LED衬底和外延制造商理想的纳米计量和纳米检测系统。作为Dimension Edge AFM平台的扩展，Edge PSS整合了Dimension AFM系统所具有的令人难以置信的价值和分辨率，同时还提供了基于生产的衬底测量解决方案。
纳米
决议
分析PSS衬底的每个关键参数。
< 0.2海里
噪声地板
提供裸衬底和外延粗糙度测量。
生产级
易用性
在价值定价的工业AFM中提供最佳的用户体验。必威东盟体育
特性
PSS分析的最高分辨率
由于有图案的蓝宝石衬底(PSS)的间距低于2微米，传统的共聚焦技术失去了提供有价值的工艺计量所需的分辨率。尺寸边缘PSS原子力显微镜(AFM)以亚纳米分辨率解决了这一需求，并能够一次测量多达9个2英寸的晶圆(或单个4或6英寸晶圆)，提供所有必要的数据，以保持PSS制造过程在控制之下。
除了内置在Dimension Edge PSS中的特定PSS测量功能，该系统还集成了所有世界领先的Bruker AFM技术，该技术是Dimension显微镜闻名的，包括外延粗糙度测量的高分辨率和低噪声，以及标准和专有的AFM模式，如TappingMode, Contact Mode, PhaseImaging™和LiftMode™。
平顶图案蓝宝石衬底的三维AFM图像。
先进的PSS计量能力
尺寸边缘PSS系统可以增强PSS结构的分析。
尺寸边缘PSS AFM提供纳米分辨率，用于分析PSS衬底的每个关键参数，同时自动收集整个晶圆和从晶圆到晶圆的信息。布鲁克专门的PSS分析包可以同时提供以下数据:
- 高度，宽度和间距
- 侧壁角度和特征轮廓
- 不对称识别与测量
- 污染识别
- 转向识别和转向角度
- 平顶识别
行业领先的AutoMET软件
Edge PSS集成了专门设计来满足LED制造需求的AutoMET软件。该软件具有两种不同的操作模式:
- 操作员级别-一个简单的用户界面与按钮指导用户通过步骤的小费改变，对齐，调整和合格。单按钮操作可自动运行多达9片晶片，具有简单的PASS/FAIL输出。
- 工程师级别-有密码保护的用户界面，工程师可以访问所有关键的AFM参数。在此模式下，工艺工程师还可以轻松设置所有必要的通过/失败标准。
Dimension Edge PSS通过易于激光校准和自动生成报告提高了操作人员的可用性，提供了有史以来在价值定价的AFM中发布的最佳用户体验。
