peakforce smim
介电常数和电导率最敏感和完整的纳米级映射
扫描微波阻抗显微镜
扫描微波阻抗显微镜（SMIM）是一种基于AFM的材料和装置表征技术，其不需要在样品和基材之间进行电接触。它通过从尖端样本界面反射微波信号来露出电动力学性质必威手机客户端由于近场信号的渗透，样品表面和子表面。
通过偏置测试的样品或设备，SMIM还提供类似于传统扫描电容显微镜（SCM）的载体分析（DC / DV）能力。以同样的方式，它也唯一地提供非线性电阻性能（DR / DV）的映射。通过SMIM及其AC样品偏置调制信号，SMIM适用于使用宽动态范围，例如金属，半导体和绝缘结构域进行测试的复杂组合物或装置的表面。作为近场方法，分辨率仅受探头的尖端半径限制，并且可以容易地实现用于电动映射的<30nm的横向分辨率。这些独特的功能使SMIM优于其他基于AFM的电气模式，可实现广泛的应用。
布鲁克的SMIM使：
- 半导体，导体，绝缘子和金属的纳米电测量
- 直接和同时测量电容和电阻率
- 衍生自DC / DV的载体分析的测量
- DR / DV的损失系数幅度和阶段
- 特定于特定的电容 - 电压和电阻率 - 电压谱（C-V和R-V曲线）
Peakforce Smim图像：（a）地形;（b）粘附;（c）dmtmodulus;（d）碳纳米管（CNT）的Smim-R映射平板在绝缘基板上对齐。SMIM-R通道确认这些CNT具有不同的电导率，如方形盒在粘附和SMIM-R通道上所示。（Sample Courtesy Greg Michael Pitner和H.Sanfort大学Hpilip Wong教授。）
高分辨率的微小与PeaxForce Tapping
当Bruker独特的赋权时Peakforce Tapp.®，Smim大大扩展了其应用于以前挑战脆弱样品的测量，同时提供相关机械性能的同时映射。直接图像在SMIM的数十纳米长度尺度上直接图像的样品的局部变化已经刺激了新的研究和应用领域，例如CNT，纳米颗粒氧化膜，地下图案和半导体器件。SMIM与PeakForce攻丝的多功能性，攻击Empowers材料研究人员和设备工程师探讨了基本原则的基本原则，并执行更先进和完整的材料表征和设备故障分析。必威手机客户端
高分辨率的Smim与PeaxForce Tapping提供：
- 最大的可重复性
- 拓展结构的技术
- 同时纳米和纳米力学表征
Peailforce Smim应用程序包括：
- Peailforce Smim Imaging和静态随机存取存储器（SRAM）
- 倒置垂直绝缘栅双极晶体管（IGBT）
- 互补金属氧化物半导体（CMOS）图像传感器
- 半导体金属氧化膜
- 埋藏的结构
- SSRM.
Peailforce Smim应用程序包括：Peailforce Smim成像和静态随机存取存储器（SRAM）反相垂直绝缘栅双极晶体管（IGBT）互补金属氧化物半导体（CMOS）图像传感器半导体金属氧化膜掩埋结构SSRM
