希思顿ATI 8800
自动薄膜机械和界面附着力计量
突出了
希思顿ATI 8800
Bruker的Hysitron ATI 8800纳米机械计量设备使公司能够通过测量的机械性能和/或界面粘附值的可量化变化快速识别意外的工艺变化，从而有效地监控其产品的机械可靠性。纳米机械计量技术能够快速识别工艺变化，以提高产量、提高产品可靠性、验证新工艺、缩短上市时间并将运营成本降至最低。测量完全自动化，能够在大批量制造环境中连续监测薄膜模量、硬度和界面附着力。
自动化
300毫米晶圆处理
完全自动化的在线或近线纳米机械计量。
精确
最高灵敏度的测量
独特的传感器技术提供了最高水平的测量分辨率和稳定性。
识别
物理性能均匀性
测量晶圆上任何区域的模量、硬度、薄膜附着力。
特性
行业领先的纳米压痕
对具有众所周知几何形状的金刚石探针施加一个小的力，同时持续监测探针进入材料表面的位移。由此产生的载荷-深度曲线是材料的“机械指纹”，用于定量计算机械性能。
纳米压痕适用于器件制造过程中使用的每种材料。模量和硬度测量对材料成分、孔隙度和厚度的变化高度敏感。
纳米裂纹粘附
当划痕探针横向移动时，向薄膜施加线性增加的法向力。当探针接近膜/基底界面时，平移探针施加的应力导致界面粘附失效。
Nanocratch是一种快速、可重复的晶圆制造技术，用于监测薄膜的界面附着力。纳米裂纹附着力结果与四点弯曲试验之间存在1:1的相关性。
应用
薄膜机械性能和粘附均匀性
ATI 8800提供高度本地化的机械性能和界面附着力测量，能够定量测量晶圆不同区域的变化。
过程监控
技术的快速发展要求大多数新产品都是使用新材料和改进工艺开发的。对于每种新材料、新工艺或新厚度，不可能参考以前设备的可靠性成果。考虑到当前和未来使用的材料和厚度，误差空间非常小。必威手机客户端
对沉积薄膜的纳米机械特性进行连续的统计采样，可以获得关于工艺漂移和结构变化的大量知识，传统上需要一些较慢的计量工具来确定问题。