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为了补偿由透明薄膜或封装材料引起的干涉条纹,在分束器和参考镜(浅蓝色框)之间插入一块材料和厚度相同的玻璃。必威手机客户端这样就有效地消除了器件封装材料所产生的任何干扰。
完整MEMS器件的3D数据集
MEMS器件采用200 μ m玻璃
20µm台阶高度标准,3mm覆盖玻璃