电子显微镜分析

QUANTAX Micro-XRF

微量元素的灵敏度与最小的样品制备

高速元素x射线测绘甚至在大范围

膜厚度分析

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做marquants

10 ppm
检出限
由于光谱背景较低,可进行痕量元素分析
4毫米/秒
旅行速度
可选的快速阶段可以在大范围内实现高速映射
1nm - 40 μ m
层厚度范围
可以分析从1 nm到40µm多层结构的薄膜

微x射线荧光分析作为扫描电镜中EDS分析的补充分析技术

  • 微x射线荧光(Micro- XRF)光谱分析是对传统的扫描电子显微镜能谱分析(EDS)的一种补充的无损分析技术。这种分析对于未知样品的元素组成的表征是很重要的,这些未知样品的范围从大厘米大小的不均匀样品到小微米颗粒。
  • x射线激发可产生高得多的检测微量元素的灵敏度(可低至10 ppm对某些元素而言),扩展的x射线光谱范围(高达40kev),以及来自样本内部更深层的信息。
  • x射线管与微聚焦x射线光相结合,产生小光斑大小的30µm具有高强度吞吐能力。
  • 一个模块化的压电平台,专门设计安装在现有的SEM平台的顶部,可以在大范围内“飞行”高速元素x射线测绘,速度可达4毫米/秒.这使得在50 x 50毫米(或更高)的样本中获取x射线测绘数据成为可能,在快速和用户友好的工作流程中结合了轻元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量的x射线数据。
  • 更大的x射线激发深度允许表征多层系统从1 nm,可达40µm这在电子激发下是不可能的。

优点之一

使用Micro-XRF和Rapid Stage扩展您的SEM分析能力

  • 双束电位,电子束和x射线束,为材料表征提供了新的可能性-同时用两种源研究样品。
  • 使用同一探测器同时进行电子束/微xrf采集,包括轻元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量的x射线数据。
  • XTrace和快速的阶段是无缝集成在精灵软件
  • 结合EDS和微x射线荧光定量技术,将电子激发的轻元素灵敏度与x射线荧光的微量元素灵敏度相结合,得到了更完整的样品表征。
  • 微x射线荧光和电子束激发同时测绘,结合了两个世界的优势。用电子束激发轻元素(碳到钠),用微xrf激发重元素。
  • 独立的峰值和扩展的光谱范围使能够看到高能量的K线,因为它们不太复杂,也不太重叠。
  • 最小样品准备-不需要导电样品表面和广泛的抛光
  • 无标准和基于标准的量化。

应用程序

将轻元素和重元素混合在一起,即使在低浓度的微米尺度上

来自智利埃尔特索罗铜矿的奇异铜样品。

矿物学样品大面积填图

新的快速阶段是专门为中小企业设计的,以实现在毫米(mm)到厘米(cm)尺度上的大面积测绘。这将消除与低放大率作图相关的潜在SEM x射线强度变化伪影,从而增强元素和矿物学信息,这在以前是不可能的。
某外来铜矿床大面积样品图。

奇异铜矿的元素和矿物分布

观察样品中元素变化的能力对于了解地质过程和矿床成因非常重要。该双源系统在SEM上集成了微xrf,可以在大范围内进行元素x射线测绘,在ppm范围内显示主要、次要和微量元素。
来自新西兰Karangahake金矿的样本。

勘探和开采的双源应用:含金浅成热液样品

微xrf与扫描电镜的结合使得在一个单独的系统中分析从厘米(cm)到毫米(mm)到微米(μ m)及以下的多个尺度的样品成为可能。因此,通过将微x射线荧光添加到扫描电镜中,你可以将扫描电镜转换为一个双源系统,这意味着有两个激发源,电子束和光子束。这两种光源都可以单独使用,也可以同时使用,以生成用同一台EDS探测器测量的x射线样品。
含金刚石榴辉岩的大面积地图。

地幔岩石学与钻石的来源

本文给出了南非卡普瓦尔克拉通含金刚石的纽兰金伯利岩地幔石榴石尖晶石橄榄岩的SEM-XRF元素图。各种元素的强度表明样品中存在某些矿物质。
大面积土壤样品图。

土壤中污染物和毒素的鉴定

使用SEM-XRF可以对带有地形的样品进行大面积测绘(Hypermaps)。即样品制备最少,且样品可以直接分析而不发生任何变质。这在土壤分析中尤其重要,因为任何形式的样品制备,如安装和抛光或碳涂层,都可能改变样品。
香烟结构

用扫描电镜微xrf分析薄膜

由于x射线可以通过物质,x射线荧光(XRF)可以确定层的厚度。在扫描电镜上使用微xrf,层分析(厚度和成分)是可行的微米尺度空间分辨率。层分析是基于原子基本参数(FP)的量化。

附件

快速的阶段

快速阶段可以安装在扫描电镜阶段的顶部,在大的样品区域快速测绘。