尺寸精度和表面光洁度测量
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技术规格
测量原理 | 基于聚焦变化的非接触式,光学,三维包括。垂直焦点探测技术 |
定位量(x x y x z) | 200毫米x 200 mm x 100 mm = 4000000 mm3 |
客观放大 | 2.5倍 | 4x. | 10x HX. | 10x. | 20x HX. | 20 x | 50X. | 100倍 | |
工作距离 | 毫米 | 8.8 | 30. | 37. | 17.5 | 30. | 19. | 11. | 4.5 |
横向测量范围(X、Y) (x x y) |
毫米 mm². |
5.63 31.7 |
3.97 15.76 |
1.62 2.62 |
1.62 2.62 |
0.7 0.49 |
0.81 0.66 |
0.32 0.10 |
0.16 0.03 |
垂直分辨率 | 纳米 | 2300 | 450 | 250. | One hundred. | 80 | 50. | 20. | 10. |
高度步进精度(1毫米) | % | 厦门市。 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
最大限度。可衡量的区域 | mm². | 40000 | 40000 | 40000 | 40000 | 24780 | 24780 | 3965 | 990 |
最小可测量粗糙度(Ra) | μm. | 7. | 1.35 | 0.75 | 0.3 | 0.24 | 0.15 | 0.06 | 0.03 |
最小可测量粗糙度(Sa) | μm. | 3.5 | 0.675 | 0.375 | 0.15 | 0.12 | 0.075 | 0.03 | 0.015 |
闵。可测量的半径 | μm. | 20. | 12. | 5. | 5. | 3. | 3. | 2 | 1 |
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焦点变化技术
阿利科纳测量系统基于聚焦变化技术,并结合了表面粗糙度测量装置的功能和形式测量系统。每个阿利科纳测量仪器都是一个表面测量装置,表面粗糙度测量系统,用于几何公差和微坐标测量系统的3D测量系统.Focus-Variation技术结合了具有垂直扫描的光学系统的小深度深度,以提供来自焦点变化的地形和颜色信息.该系统的主要组件是一种精密光学器件,包含可配备不同的目标的各种镜头系统,允许使用不同的分辨率进行测量。