德国亚兴 - （（业务线） - 布鲁克·纳诺（Bruker Nano）今天宣布N8 Titanos™大型样本检查已进一步改进，以提供最高的空间分辨能力。由于其独特的AFM技术和出色的机械稳定性，Titanos现已通过标准配置的生产仪器上的Hopg（高度定向的热门石墨）进行原子尺度分辨率证明。泰坦尼斯（Titanos）再次证明自己是直径300毫米的大型样品的最精确，最稳定的AFM平台。
这N8 Titanoshas been developed for the inspection of 300 mm wafers, and it is also in use for metrology on solar panels, photolithography masks, flat panel displays, etc. The TITANOS’ ultra-precise xy-positioning stage employs contact-less linear motors, high-resolution glass encoders and an air bearing for fast, reproducible sample movement. The TITANOS AFM is mounted on a solid granite bridge above the platform.
Bruker Nano提供的所有AFM系统均采用光纤干涉法（FOI）检测作为独特的功能，即使在大型样品上也可以实现出色的分辨率。布鲁克·纳米（Bruker Nano）的AFM首席技术官汉斯·阿奇姆（Hans Achim）大惊小怪解释说：“ FOI提供了卓越的敏感性以及校准的挠度。”“由于所有关键参数的确切知识，使用我们的AFM获得的结果高度可重复。”
布鲁克·纳诺（Bruker Nano）AFM副总裁弗兰克·索伦巴赫（Frank Saurenbach）博士进一步评论说：“令人难以置信的是，看到泰坦尼斯（Titanos）的舞台在几秒钟内移动数百毫米，然后在每个新的测量位置都以这种稳定性和记录分辨率运行。我们很高兴能为市场上提供最高的分辨率AFM工具。”
这N8 Titanos可以用作独立的，自动系统，也可以与高性能光学显微镜结合使用。它是一种完全可访问的研发工具，也可以升级到在线生产检查系统。
关于布鲁克·纳诺
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