データ表示オプション——後処理

柔軟な測定結果の可視化

分析者は,多くの場合,関心のある材料特性を簡単に評価できるようなデータの提示方法についての課題に直面します。EBSD用のESPRITソフトウェアは,そのニーズを満たすために多数のデータ表現ツールを用意しています。

サブセット選択

ESPRITは,分析者に様々な条件を使用してデータサブセットを作成するオプションを提供し,特定の機能に集中できるようにします。サブセットの選択は,マップ,ヒストグラム,極点図,フェーズリストなど,このページで説明されているデータと表示オプションの多くに適用することができます。サブセットは,和算,減算,共通部分,展開など,複数の操作を使用して処理できます。マスクも使用できます。

ステンレス鋼のパターン品質マップ

パターン品質マップ

これは,測定の品質を判断するための重要なツールです。パターンの品質は,取得パラメータ,サンプルプロパティの影響を受けます。例えば,フェーズ,境界,格子ひずみ,サンプル前処理によるものなどです。マップの各点でのパターン品質,菊池パターンの鮮明度は,グレースケール画像を生成するために符号化された明るさです。これらの画像は,粒界などの微細構造の特徴を示しているため,他のタイプのマップとオーバーレイするためのベースとして役立ちます。

ステンレス鋼のフェーズマップでオーバーレイされたパターン品質:フェライト(赤),オーステネ(青),チタン窒化物(緑)チタン硫化物(黄色)

フェーズマップ

識別されたすべてのフェーズは,色分けされたフェーズ分布マップに表示されます。

高解像度の極点図

極点図

極値は,方位データの最も一般的な表現ツールの1つです。すべての方向の測定値を考慮して選択された極{hkl}の分布が表示されます。極点図は、テクスチャの強度と、どのテクスチャコンポーネントが支配的であるかに関する重要な情報を提供します。EBSD用ESPRIT は、極点図とそれに対応する回折球(3Dで表示)を高解像度で、前例のない速度で生成します。

逆極点図

逆極点図(IPF)

極点図は,ステージ座標系を参照して結晶方位を表示しますが,IPFは選択されたステージシステム軸を結晶学的ベクトルとして表します。対称に位置するベクトルが多いため,IPFは対称性固有のサブスペースに縮小されます(右の図を参照)。

シリコンウエハに堆積した金膜のODF空間の可視化

方位分布関数


高速でインタラクティブな表示のための最新のオープンGL技術を使用した,ODF空間の2 dカットと3 d可視化。

IPFXマップにオーバーレイされたステンレス鋼,パターン品質マップ

IPFマップ

IPFマップは,局所的に検出された方位と単一の参照方向の結晶学的記述を組み合わせたものです。カラーコーディングは,IPFの縮小サイズにスケーリングされます。

现场引張試験のさまざまな段階での阿姆柯鋼粒子内の“変形の蓄積”を示す粒子平均方位差マップ。色は0度から7度への方向の変化を示します。

オイラーマップ
オイラーマップは,RGBでエンコードされたオイラー角に基づいて各ポイントで検出された方向を表示します。

グレイン解析
方向のずれとサイズの基準を使用したグレインの検出をサポートします。∑3境界は,必要に応じて無視することができます。粒子は,形状,サイズ,主軸の傾斜(細長い粒の場合)に関して分析することができます。検出されたグレインマップは,ランダムな色のグレインを使用して生成することができます。

また,結晶方位差の分布解析機能も含まれています。ラインに沿った結晶方位差のプロファイルとヒストグラムを計算できます。結晶方位差マップは,粒子平均の結晶方位差マップ,カーネル平均結晶方位差マップおよび参照結晶方位差マップを形成して表示することができます。

テクスチャコンポーネント
EBSD用ESPRITはテクスチャコンポーネントマップの生成をサポートし,レインボーパレットを使用して“理想的な”方向からテクスチャコンポーネントとその広がりを定義できるようにします。この機能は,サブセットの作成にも使用できます。