原子間力顕微鏡

Dimension HPI

産業研究開発用自動ナノ計測
Dimension FastScan Pro

ハイライト

Dimension HPI

(AFM)であるDimension®ファミリーファミリーのファミリーはのと性能工业工业用计测计测用途のの长年の実绩により高い高いを得てていますます生产大量dimensionpro hpienproシステムのののののシステムのの多く多くモードモードの自动测定をを可能にしながら,品质品质管理管理,品质保证,,,および故障解析のためためののののののののpeakforcetappatpappatpapping®モードモードモードモードモードを使用,,ユーザーユーザーははプローブプローブととサンプル间の相互作用作用をを正确に制御制御しし,,,,寿命寿命同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时します。

独自
AFM生産技術
业界をする特性评価可能にします。
信頼性・コスト
高信頼の品质と低両立両立
运用の化コストを削减し。。
自動化
AFMスキャナ
信頼性シームレスなワークフローをし。。。

特長

機能

生産現場の多様性に対応

Dimensionプラットフォームは、ポリマー、半導体、データストレージ、高輝度LED、マイクロディスプレイなどの業界で最大の納入実績を有します。HPIおよびPROはオープンアクセスプラットフォームにより、大型または複数サンプルホルダーなど、大量測定に適したアクセサリーやソフトウェアなどの効率化、最適化のためのオプションを搭載することで、最先端のAFM技術を提供します。Dimension Proは、セミコンダクター、データストレージ、HB-LED用に2インチから12インチまでのウェハの自動測定を実現します。特徴は、200mmウェハまたは200mm径エリアの複数のサンプルにフルアクセスするためのXYサンプル移動量を増やし、300mmウェハ用のオプションのチャックを備えていることです。また、トポグラフィ、粗さ、その他の計測分析用の高スループット5~10倍速FastScanスキャナー、または、より大きなスキャンと高精度のトポグラフィ性能を実現する90μmスキャンレンジのIconスキャナーのいずれかを選択することができます。


QA / QC / FAにおける効率的かつ最も確実なナノスケール計測のためのソリューションです。

自动化で生产をパワフルにサポート

自动元素™フルレシペフルレシペ,高速自动化さた计测,,な操作操作操作,,およびおよびおよびおよびおよびおよびおよび适応适応适応适応适応适応提供提供しし,,,生产现场现场でで必要必要必要ととととささ重要な测定测定测定ます。は,复数のでのナノスケール特性评価のに,,,复数复数复数ののののサンプルサンプルまたは単一単一のの大型大型サンプルサンプルサンプルサンプルののののの自动自动测定ををを可能,またはのサポート数十ナノメートルのイメージ位置提供提供しますます。。包括包括的的でありながらシンプルななレシピによりにより,上级者者

簡単な測定レシピ作成により、エンジニアは名前で場所を定義し、任意のタイプを割り当て、各場所での測定数を割り当てることができます。
X-yののののの测定位置ののウエハーベースのレイアウトを示す。。。。

精密なプローブサンプル制御

Dimension FastScan Pro は、最も精密なプローブサンプル制御を提供し、ソフトポリマー、薄膜、電気サンプルから非常に硬い材料まで、最も幅広い種類のサンプルを使用できます。

独自の技術により、サンプル上の任意の原子に対するピンポイントフォースが可能になります。この精密なプローブからサンプルへの制御により、ソフトポリマー、薄膜、電気サンプルから硬質材料まで、幅広い種類のサンプルを使用できます。また、利用可能な最も低いイメージング力と、何百ものエンゲージとデータスキャンに対する長いプローブ先端寿命を提供します。

アプリケーション

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