基于sem的x射线能谱仪对整个地质薄片的高效测图

整个薄片(28 mm × 48 mm)的元素分布图可以通过SEM-based EDS在几分钟或几秒内使用Bruker的图像扩展函数思捷环球软件这样的概览分析通常足以可视化样本中元素的分布。图1显示的是在2048µs到只有4µs的范围内，采用不同的每像素停留时间获得的一系列地图。结果表明，每帧仅几秒钟的采集时间通常足以区分主要元素的分布和识别样本中的主要相位和纹理。