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扫描电镜波长色散光谱法
卓越的光谱分辨率
提高分析精度和精密度
纳杰瓦·尼耶泽信息中心
~ 4
电动汽车
Si-Kα的半高宽
超过一个数量级的卓越能量分辨率
< 100
百万分之一
多种元素的检测限
高微量元素准确度和精密度
> 900
cps/nA
具有80Å多层膜的C-Kα计数率
低能量X射线的高灵敏度
利用电子探针显微分析仪的优势补充SEM
- 用于SEM的QUANTAX WDS（WDX）由XSense波长色散光谱仪组成，在所有平行光束WDS系统中产生最佳分辨率。与基于罗兰圆的WDS光谱仪相比，由于平行光束设计，大立体角导致低能X射线的信号强度更高。
- WD特有的高信噪比通过抑制背景伪影的独特二次光学进一步增强。
- QUANTAX WDS配备最精细的掠入射光学元件和多达六个分析晶体，对70 eV以上的低能X射线具有卓越的灵敏度。
- 一个巧妙的自动光学校准系统和一个独特的压力控制比例计数器确保准确和可重复的结果。
- 灵活适应WDS或EDS端口。
科兹奇
SEM上的WDS–用于苛刻分析应用的完美解决方案
- 解决常见的EDS峰重叠，如Ta-W-Si、Pb-S或Mo-S
- 探索感兴趣元素的低能X射线线系列（L、M、N）
- 用低加速电压检查样品，以确保最小穿透深度
- 由于高立体角，可在整个浓度范围内从Be到F进行轻元素调查，因此可获得最高cps/nA
- 测定远低于检测限的微量元素浓度EDS
- 在低真空下测量，无需导电涂层
- 使用独特的压力控制比例计数器节省分析测量时间
- 确保光谱数据的空间准确性，以便精确量化
- 通过同步WDS和EDS分析节省采集时间，该分析结合了组合量化中每个检测器的优点
