分层结构的化学相分析

检查高光谱图像是否存在化学阶段而不应用现有知识可能是有利的。Bruker的Esprit Autophase通过基于光谱的原理分析分析超图来自动发现类似组合物的标本区域。可以调整该过程的灵敏度。以横截面中的多层结构作为示例，使用多层结构来证明该方法。

第一图像显示样本的定量混合元素图，第二图像显示了一些现有的不同化学阶段。可以由自动体液过程或通过分配特定的样本区域自动发现，它们在通过该程序进一步分析整个地图的进一步分析期间将被视为一种化学阶段。如果已知后者是已知的，则可以揭示和归因于现有的特异性物质的阶段的组成。用于整个地图的相位分析的样本区域的定义或“分配”可以基于关于样本的先验知识，或者基于通过第一假设较少的自动复位运行获得的信息。

对于演示，在第一次自动组运行之后，在此分配元素映射的三个有趣的代表区域。这些区域标有两个大矩形和较小的圆形区域。整个地图运行的下一个自动弹簧的结果显示在第二图像中。在整个地图中正确地位于整个地图中，Zn和CD含量，研究的实际兴趣，从区域1和区域3中定义的两个阶段。由电子束曝光引起的样品表面上的碳污染被发现并位于另一个特定阶段，而不是以前由面积2分配的另一个位置。左侧的灰色区域显然与三个预先分配的相位不同地组成因此无法分配。右侧的层似乎含有与区域中分配的污染点类似的物种2.通过增加灵敏度的进一步改进程序可以揭示更多地在标记为阶段2和右侧的层之间的可能差异。