全税微区 X射线荧光

新的快速样品台专为 扫描电镜设计，可实现在毫米到厘米尺度上进行大面积面分析。这将消除与低放大倍率面分析相关的十、射线强度变化伪影，从而增强以前不可能在有限时间得到的元素和矿物学信息。

观察样品中元素变化的能力对于了解地质过程和矿床成因非常重要。 在 扫描电镜上集成了微区 X射线荧光的双束系统可在大面积样品上进行元素 十、射线面分析，从而在 百万分之一尺度上显示主要、次要和痕量元素。

微区 X射线荧光与 扫描电镜的结合使我们能在单一系统中以多个尺度分析样品，从厘米到毫米，甚至到微米和以下。因此，通过将微区 X射线荧光添加到 扫描电镜可以将 扫描电镜转换为双束系统，这意味着有 2.个信号激发源，即电子束和十、射线光束。任何一个束源都可以单独使用，也可以同时用于激发样品产生 十、射线，而这些样品将使用相同的 EDS探测器进行测量。

在这里，我们展示了一个SEM-XRF元素分布图，该图来自含钻石的纽兰金伯利岩（南非，卡普瓦尔克拉顿）的地幔石榴石和橄榄石。各种元素的强度分布显示样品中存在的某些矿物质。

具有粗糙表面的样品可以使用 SEM-XRF执行大面积面分析（超地图）当使用微区X射线荧光进行表征的时候，样品几乎不需要制备，可以直接分析样品。这一点在土壤分析中尤其重要，因为任何形式的样品制备（如镶样和抛光或碳涂层）都可能会改变样品。

十、射线可以穿过物质，因此十、射线荧光（XRF）可以用来确定薄膜样品的层厚度。在扫描电镜上使用微区XRF可以用微米尺度的空间分辨率进行层分析（厚度和组成）。层分析的基础是使用原子基础参数（FP）对每一层的成分进行定量。