Dektak XTL探针式轮廓仪
针对300mm尺寸样品进行优化，用于质量保证/质量分析的探针式轮廓仪
高亮
Dektak XTL探针式轮廓仪
Dektak XTL™350mm x 350mm的样品可可，为为晶圆晶圆和制造带来带来带来带来带来带来带来带来带来带来带来带来带来带来传奇传奇传奇传奇传奇传奇重复性重复性重复性。。。。。重复性重复性重复性门，是是生产环境的理想选其双摄像头架构可增强增强空间能力，其感知能力，其其其
鲁棒
自动化设置和操作
基于参考位置和众多测量位置进行编程，以最大限度地提高测试通量并最大限度地减少出错。
双
摄像机控制
更快地简化测量设置和定位到感兴趣点。
容易
分析和数据收集
自动执行分析程序，仅报告复杂样本上所需的特征。
功能
业界最佳自动化和分析软件
增强的软件功能使 Dektak XTL 成为功能最强大、最容易使用的探针式轮廓仪。该系统利用 Vision64 软件，通过数百种内置分析工具实现众多的测量位点、3D成像和高度自定义的特征分析。Vision64软件还能测量形状，如曲率半径。模式识别可最大限度地减少操作员误差并提高测量位置精度。集成化的软件包将数据收集和分析与直观的工作流程相结合。
Vision64 生产界面。
无与伦比的探针技术
操作员将 300mm 晶圆装载到 Dektak XTL 上。
dektak Xtl x 50多年探针式轮廓仪知识和生产的程序定制定制为为基础基础基础计量研发。。工具的的的像头控制高清大大双双视场视场相机相机相机提供提供的的空间感知感知。实时实时视频中中中的的点击点击点击定位定位定位定位使操作员操作员快速快速快速将将设置和。系统的大型为/卸载卸载提供了安全方便方便。。。。
其他硬件功能包括：
- 单拱形架构和集成振动隔离系统，实现行业领先的性能
- 快速更换自对齐探针
- 高编码xy样品台，实现实现快的收集收集收集收集
- N-Lite 低力，采用软触控技术，具有 1mm 测量范围，可同时用于测量精密和高垂直范围样品