Chemische Zusammensetzung von halbleiter互联

死energiedispersive Rontgenspektroskopie(EDS或EDX)标准klasse mit 30 mm²aktiver Detektorfläche kann in konventionellen光栅传输-elektronenmikroskopen (STEM) innerhalb weniger Minuten Elementverteilungsbilder mit nm-Auflösung liefen。Voraussetzung坚持,dass der Detektorkopf克莱因足够的坚持(schlanker Slim-line-Ausfuhrung),汽水盛Abstand苏珥探针moglichst蒙古包是(毛皮杯hohem Raumwinkel,来自民主党Rontgenstrahlung erfasst了萤石)和der Detektor所以霍克是不是moglich uber der探针positioniert了萤石(毛皮杯hohen Abnahmewinkel)。在此之前，我们已经把它吸收了。

Konventionelle (nicht Cs-korrigierte) STEM, nachgerüstet mit Standard-EDS (30 mm²Detektorfläche und Leichtelementfenster)， Erfassungsraumwinkel bei 22°Abnahmewinkel和wurde verwendet，我们用eds和cliff - lorimer - method进行定量分析。我们用eds和cliff - lorimer - method进行定量分析。在ESPRIT-Software basiert auf folgenden Informationen中，Berechnung理论家Cliff-Lorimer-Faktoren:

• umfangreiche和ständig aktualisite Atomdatenbank mit Werten für Streuquerschnitte和Fluoreszenzerträge
• 几何学与探针
• 信息可以让我们了解更多的信息

在这个过程中，我们可以用一个简单的方法，用一个简单的理论来计算它和它的相对关系ausgewählten在这个过程中我们可以用这个方法来计算它。在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国。Wolframfüllung (Abb. 2)。Si, Ta和W können ebenfalls gut getrent and korrekt zugeordnet werden (Abb. 3)。