半导体内连结的化学成分表征

在标准扫描透射电子显微镜 （干）上使用 30毫米^2.的探测器面积的能量分散 十、射线光谱（编辑部或 EDX）可在几分钟内提供具有纳米级分辨率的元素面分析。分析条件是，当探测器头足够小（细管径设计），探测器就可以尽可能接近试样（高固体角）并且相对试样足够高（高检出角）。后者有助于避免阴影效应和降低吸收对结果的负面影响。

标准茎安装30毫米^2.有效面积，带有使突然转向的EDS探测器可以达到0.09 sr固体角和22°的检出角。我们用它来分析半导体内连接结构（图1）。元素分布可以被成功表征。使用克里夫·洛里默方法定量处理EDS数据。精神软件中克里夫·洛里默理论因子的计算基于以下信息：

• 具有辐射横截面和荧光产生值的强大，完备的原子数据库
• 探测器与试样的几何构型
• 探测器的量子效率

在相同条件下研究的一系列标本中，使用理论计算因子的 克里夫·洛里默方法相对于样本系列中所选的标准样品，可精确到几个原子百分比内。EDS数据清楚地显示了 助教和 锡互连衬里的钽和钛，以及铜和钨填充（图 2）。钛信号可以从氮信号中分离。可以去工作并正确分配 Si、Ta和 W(图 3）。