扫描扩散抗性显微镜(SSRM和SSRM- hr)

发光二极管(led)、光电探测器和二极管激光器都是以半导体技术为基础的，它们的开发和制造依赖于在二维空间中以高分辨率测量其电学性质的能力。

扫描扩散抗性显微镜(SSRM)，比如扫描电容显微镜(SCM)，可在半导体样品表面同时进行地形成像和二维载流子密度映射。SSRM雇佣了联系方式高力反馈与宽范围放大器结合，以获得扩展电阻和载流子密度的测量。

的维图标^®SSRM-HR封装在二维载流子密度映射中实现了最高的空间分辨率和可重复性，使其成为前沿半导体工作的首选配置。