快速阶段

Rapid Stage是一个基于模块化压电的阶段，旨在安装在标准SEM阶段的顶部，以在大面积上进行高速映射。

关键事实和利益

• 可以适应最常见的SEM阶段
• 独立于SEM阶段控制
• 旅行速度高达4 mm/s
• 在短时间内样品（例如谷物安装，岩石板，薄部分等）中的微量元素含量低。
• 可以与电子束激发同时使用（对于低能元素）
• 在VP/LV模式下工作
• 快速舞台更改