同时进行EBSD和EDS分析

由于Bruker EDS和EBSD探测器的独特定位能力，两者都可以实现最佳的测量条件。这使得EBSD和EDS数据能够快速有效的同时采集。

同时使用这两种方法对于产生的数据和得出的结论的质量有巨大的好处。特别是在有疑问的情况下，有第二个信息来源对正确的数据解释是非常有用的。由于许多分析步骤可以非常快速地离线完成，这节省了操作员和SEM的时间。

EBSD和EDS同时测量有以下应用:

• 提供相位成分作为输入，用于使用高级相位ID进行离线相位识别
• 基于eds的在线识别阶段产生相似的模式

快速基于eds的在线相位识别

在有些情况下，相产生的EBSD是如此相似，以至于仅通过EBSD无法区分它们，尽管它们有不同的成分。对于这些，可以使用基于eds的在线歧视。用户可以将EDS数据在最终结果中的权重在1% - 100%之间进行修改。

得益于快速量化程序和Bruker的XFlash®EDS探测器的能力，采集和评估可以以高达930模式/秒的速度执行。为此，在每个测量点采集的EDS光谱与EBSD数据一起存储在一个单一文件中，这意味着它们总是可以在线和离线访问。