同时进行EBSD和EDS分析

由于Bruker EDS和EBSD探测器在定位上的独特能力，可以实现这两种探测器的最佳测量条件。这允许快速、高效地同时采集EBSD和EDS数据。

同时拥有这两种方法对于产生的数据和得出的结论的质量是一个巨大的好处。特别是在有疑问的情况下，为正确的数据解释，有第二个信息源是非常有用的。由于许多分析步骤可以离线完成非常快，这节省了操作员和扫描电镜的时间。

同时进行EBSD和EDS测量有以下应用:

• 提供阶段成分作为使用高级阶段ID的脱机阶段标识的输入
• 基于eds的产生相似模式的相位在线识别

基于快速eds的在线相位识别

在某些情况下，相产生的EBSPs非常相似，即使它们有不同的成分，仅用EBSD也无法区分。对于这些基于eds的在线歧视可以使用。EDS数据在最终结果中的权重可由用户在1% - 100%之间进行修改。

由于Bruker公司的XFlash®EDS探测器具有快速定量程序和功能，采集和评估的速度可达930个模式/s。为此目的，在测量的每个点上获得的EDS光谱与EBSD数据一起存储在一个文件中，这意味着它们总是可以在线和离线访问。