SiBrickScan

获取有价值的信息来检查和优化产品质量

了解硅锭的氧梯度可以得出重要的结论，有助于控制和优化硅晶化过程或识别不良原料批次。因此，SBS将有助于通过优化产品质量和减少缺陷晶圆的数量来节约成本。单个锭的随机取样大大减少了样品制备的工作量，并能更早地提供相关信息。

最先进的FTIR光谱灵敏度

FT-IR光谱(ASTM/SEMI 1188)是一种众所周知的重要分析方法，但仅限于低mm范围的薄硅样品。SiBrickScan (SBS)克服了这一限制，是第一个商用的完全专用系统，可以沿主轴方向测定完整钢锭中的氧梯度，而不需要耗时和破坏性的薄样品制备。SBS巧妙地利用了相关的红外泛音吸收波段，并结合了可靠和最先进的布鲁克FT-IR技术。

要发送SBS在线咨询，请点击这里。

不制备薄样品的间隙氧定量

SiBrickScan允许分析长度达500毫米的硅锭中的间隙氧。这些有价值的信息可以优化结晶过程，以及在锯切前对单个钢锭进行鉴定。

高质量校准直接连接到ASTM/SEMI 1188

SBS氧评估使用的校准直接链接/源自ASTM/SEMI 1188。由于两种方法的相关性几乎是完美的，间隙氧浓度的评估具有最高的准确性。

SBS检测灵敏度最高

根据样品的形状和性能(如电阻)，SBS可以达到间隙氧检测极限< 2 ppma (< 10¹⁷/厘米^3.)．如果您对可行性测试方法感兴趣，请联系您当地的布鲁克代表。

用于不同铸锭类型的专用SBS版本

SBS可用于多晶或单晶标准方形光伏锭(截面~156 × 156 mm)²)以及直径为~150毫米(6”)或~200毫米(8”)的圆柱形硅锭。其他直径和形状的系统可以根据要求提供。

行业兼容和稳健的设计

强大而精确的线性驱动自动控制钢锭测量位置:根据钢锭的配置和类型，在钢锭轴线上可实现~12 mm的空间氧分辨率。可靠和安全的联锁机构排除了操作人员接触运动部件的风险。

直观和易于使用的软件界面

SiBrickScan (SBS)包含为工业环境优化的专用和直观的图形用户界面。必威东盟体育普通生产工人也可以在几分钟内学会标准操作程序:简单地装入钢锭，选择所需的分析配方，然后开始测量。测量本身将自动进行，包括数据评估。

创新的高灵敏度光束路径，包括参考样品

独特和创新的红外光束路径确保最高的测量灵敏度。一个高质量的参考样品已经包括在仪器和参考测量是自动完成的。

探测器可根据客户要求选择

SBS可以与斯特林冷却探测器一起使用，独立于液氮运行。可选的SiBrickScan也可以订购液氮冷却探测器，包括自动补水装置。