Si衬底的结晶缺陷
XRDI
x射线衍射成像
x射线衍射成像(XRDI，也称为x射线地形学)用于成像在其他完美(或接近完美)衬底上的晶体缺陷。在硅基板制造中，无需制备样品，甚至在镜面蚀刻前或直接研磨后，就可以对锭载片进行成像。从钢锭出发的缺陷图可以指示在圆片上开始对好的晶圆进行切片的位置。由于不需要样品蚀刻，这减少了生产环境中使用的有害蚀刻酸的数量。
对生产的即时反馈
XRDI还可用于识别加工后晶圆片边缘的任何裂缝或滑动，并增加了一个小型环境和边缘抓地器样品处理，允许对产品进行最终质量检查。
QCTT工具的完全自动化特性允许缺陷图被提取，并通过SECS/GEM自动报告，以便对生产进行即时反馈。
Micro-XRF
Micro-XRF
在大晶体中，大多数缺陷都伴随着晶格常数的变化和/或晶体取向的变化。这些变化将导致微xrf频谱中布拉格峰的变化。得益于布鲁克的微型xrf解决方案，它们可以在大范围内绘制。
利用能量色散微xrf快速晶体畴映射
在能量色散XRF中，布拉格衍射峰通常被认为是干扰荧光信息的干扰物。然而，这些布拉格峰，因为它们与晶体取向有关，提供了关于样品性质的额外信息。在这里，我们描述如何M4龙卷风可以用来可视化晶体域。这些信息对于评价单晶的质量以及多晶材料的性能是至关重要的。必威手机客户端这一原理可用于识别单晶的亚晶粒取向偏差以及多晶样品的微晶尺寸。
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