Si衬底中的结晶缺陷
XRDI.
X射线衍射成像
X射线衍射成像（XRDI，也称为X射线地形）用于在其他完美（或附近）基板中的图像结晶缺陷。在Si衬底制造中，甚至在镜面蚀刻或在研磨后直接进行样品制备的铸锭滑动的成像。来自铸锭的缺陷地图可以指示梭纱上的位置，以便开始切片良好的晶片。不需要样品蚀刻，这减少了生产环境中使用的有害蚀刻酸的量。
瞬时反馈到生产
XRDI还可用于在处理后识别晶片边缘上的任何裂缝或滑动，并添加迷你环境和边缘抓握样品处理允许对待执行的产品进行最终质量检查。
QCTT工具的全自动性质允许提取缺陷映射并通过SEC / GEM自动报告，以便瞬时反馈到生产。
Micro-XRF
Micro-XRF
在大晶体中，大多数缺陷具有晶格常数的变化和/或晶体取向的变化。这些变化将导致微XRF频谱中的布拉格峰的变化。由于Bruker的Micro-XRF解决方案，它们可以在大面积上映射。
使用能量分散微XRF的快速晶域映射
在能量分散XRF中，布拉格衍射峰通常被认为是干扰荧光信息的麻烦伪影。然而，这些布拉格峰值，因为它们与晶体取向有关，提供有关样品性质的额外信息。在这里，我们描述了如何M4龙卷风可用于可视化水晶域。该信息对于评估单晶的质量以及多晶材料的性质至关重要。必威手机客户端该原理可用于识别单晶中的亚粒系失子，以及多晶样品中的微晶尺寸。
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