オンアクシス透過菊池回折(SEM)

2012年^(1）に最初に提案された透過菊池回折(跆拳道)はt-EBSDとも呼ばれ,空間分解能が標準のEBSDのよりも少なくとも1桁優れているため,すぐに確立された技術になりました。この技術は,電子透過性のあるサンプルを水平方向またはわずかに傾けて配置する必要があります。サンプルは電子線に垂直または垂直に近い状態に配置し,標準的なEBSD検出器がサンプル面の下から菊池パターンを捕捉するように配置されています。

この技術の可能性を認識した力量は,フランスのメスにあるロレーヌ大学の研究チームとのコラボレーションを開始し,理想的でないサンプルと検出器の位置関係に対する制限に対処しました。このコラボレーションにより”オンアクシス跆拳道”(2)として知られている新しいサンプル——検出器のジオメトリの原理が証明され,後に擎天柱^TM跆拳道検出器ヘッドが発売されました。新しい検出器ヘッドは,電子透過性サンプルの真下に挿入できる水平スクリーンを備えており,SEMの光軸がスクリーンの中心と交差しているため,“オンアクシス“跆拳道と呼ばれています。この構成は信号収量が最も強く,心射方位図法による歪みを最小化し,菊池パターンを捕捉することができるという利点があります(3)。

2015年の発売以来,擎天柱^™跆拳道は、SEMでオンアクシス跆拳道を可能にする唯一の商用ソリューションです。その機能により,跆拳道ソリューションのリーディングとしての地位を確立しています。

比類のないパフォーマンス

低いプローブ電流-　擎天柱^™跆拳道は2 na以下のプローブ電流を使用し,優れたデータ整合性またはインデックス品質を使用して,ナノメートルスケールの空間分解能で毎秒数百ポイントの方位と位相マッピングを可能にします。

空間分解能- 2海里以上の空間分解能(ハイエンドFE-SEMを使用している場合)で,擎天柱^™跆拳道は10 nm未満の高精細な構造を明らかにし,場合によっては5 nm未満の構造を確認することもできます(下記のアプリケーション例を参照)。

擎天柱^™跆拳道検出器ヘッドは,すべての力量eFlashEBSD検出器の標準検出器ヘッドと交換可能であり,同じ検出器でEBSDと跆拳道の両方に簡単にアクセスできます。例えば,空間分解能が必要な場合,訓練を受けたユーザーは10 ~ 15分で跆拳道とEBSDの分析を切り替えることができます。擎天柱^™跆拳道は,特許取得済みの跆拳道サンプルホルダー(EP 2824448 A1)との組み合わせで完璧に能力を発揮します。

性能と分析の成功を最大限にするため,擎天柱^™跆拳道は組み込みのARGUS™イメージングシステムを使用して設計されています。その高品質および高感度のSSDにより,最大125 kポイント/秒の速度でナノメートルの解像度で鮮やかな暗視野像と暗視野像を獲得することができます。これらの画像は単なる定性的な情報ですが,方位や位相差,転位や積層欠陥,場合によっては残留歪みなどの重要な微細構造の詳細を明らかにします。

力量のQUANTAXEDS/EBSDシステムの最も高く評価されている機能の1つは,2つの技術の高度な統合です。もちろん,優れた統合は電子透過サンプルでも利用可能であり, eFlash FSと独自のXFlash^®FlatQUADEDS検出器を組み合わせと特に強力です。2つの探知器は比類のないデータ品質,空間分解能,スループットを提供し,特許取得済みの跆拳道サンプルホルダーと新しくリリースされたX線マスクを完璧に連携します。

• 方位マッピングの空間分解能:2 nm以上
• DF / BFイメージングの空間分解能:1.5 nm以上
• マップ内で測定可能な最小サイズ:4海里以下の盟アニール双晶
• 測定速度:630 fps(フレーム/秒)
• 过去範囲:5 - 30千伏
• プローブ電流:アプリケーションの少なくとも95%が2 nA以下を必要とします

(1）扫描电子显微镜观察10nm结构域透射EBSD，R. Keller和R. Geiss, Journal of Microscopy, Vol. 245, p3 2012, pp. 245 - 251

（2）轴上检测器的透射扫描电镜定向映射，j - j Fundenberger等人。， 161,17 - 22, 2016

（3）系统比较轴上和轴外透射菊池衍射，[j] .中国生物医学工程学报，2018,34 (4):548 - 548