结构特性
薄膜和涂层的结构性能是其稳定性和功能性的关键。Bruker是薄膜深层结构表征分析解决方案的市场领先供应商。
RSM
薄膜的快速互易空间映射
外延多层膜的结构特性对半导体、光电子、铁电学和自旋电子学等器件的功能至关重要。利用x射线衍射(XRD)进行互易空间映射(RSM)已成为表征薄晶层结构的实际技术。通过响应面法，可以非破坏性地确定垂直应变和侧向应变、成分和区域效应。使用RapidRSM，衍射强度通过1D探测器测量，该探测器在扫描时主动读出，扫描时间大幅减少，仅为几分钟甚至几秒。
IPGID
平面互反空间映射
传统的共面x射线衍射探头垂直于样品表面的距离。这意味着包括畴的相对取向和面内晶格参数在内的性质基本上只能假定。D8 DISCOVER Plus采用非共面探测臂，能够直接测量样品表面的薄膜性质。
压力
硅上多晶钨涂层的研究
许多加工步骤会留下残余应力，这些残余应力会影响所制造部件的性能。压缩应力可以被设计成金属涂层来抵抗裂纹扩展，而拉伸应力可以被用来提高半导体的导电性。应变材料的原子间距必威手机客户端变化可以通过x射线衍射(XRD)检测到，并通过弹性常数与应力有关。
