结构性

外延多层涂层的结构性能对于半导体，光电子，铁电气和闪铜器的装置的功能至关重要。具有XRD的互易空间映射（RSM）已成为表征薄晶体层结构的事实上的技术。通过RSM，垂直和横向菌株，组成和域效应都是非破坏性的。利用RAPIDRSM，用1D检测器测量衍射强度，该检测器在执行扫描时主动读出，导致扫描时间剧烈降低到几分钟甚至秒。

常规的Aka共面X射线衍射探针垂直于样品表面的距离。这意味着仅假设包括域和平面内晶格参数的相对取向的特性。通过非共面检测器臂，D8发现加能够直接测量样品的表面平面中的膜性质。

许多处理步骤留出残余应力，这会影响制造部件的性能。压缩应力可以设计成金属涂层以抵抗裂纹繁殖，而可以利用拉伸应力以增强半导体中的导电性。应变材料表现出原子必威手机客户端间隔的变化，其可以通过X射线衍射（XRD）检测并通过弹性常数与应力相关。