粗糙表面材料的EDS定量必威手机客户端

对于可靠的EDS定量,必须准确了解样品和检测器几何结构。然而,对于具有粗糙地形的材料,很难知道获取光谱点的局部样品几何结构。提高定量的一种方法是通过样品旋转获得多个光谱。这将模糊样品形貌对定量的影响,使结果更接近化学计量浓度。必威手机客户端

图1显示了具有粗糙样品形貌和认证浓度值(元素a=33.4%,B=41.3%和C=25.3%(质量百分比))的三元合金的SE图像。为了评估材料成分,在样品表面获得五点光谱(图1a)。将样品旋转180˚,并在几乎与之前相同的位置额外获取五点光谱(图1b)。平均光谱给出了材料的组成:元素A=33.5%、B=40.8%和C=25.7%,非常接近认证浓度。测量粗糙表面的一种简便方法是使用Bruker独特的EDSXFlash®扁平四边形探测器

图1a:具有粗糙形貌的三元系的SE图像(无级旋转)
图1b:具有粗糙地形的三元系的SE图像(具有180˚级旋转)
带量化表的EDS点谱