粗糙形貌材料的EDS定量分析必威手机客户端

为了可靠的EDS量化，样品和探测器几何结构的准确知识是必不可少的。然而，对于地形粗糙的材料，必威手机客户端很难知道在获取光谱点的局部样品几何形状。改进定量的一种方法是通过旋转样品获得多个光谱。这将模糊样品地形对定量的影响，使结果更接近于化学计量浓度。

图1显示了一种三元合金的SE图像，其样品形貌粗糙，浓度值(元素a = 33.4%，元素B = 41.3%，元素C = 25.3%的质量百分比)。为了评价材料的组成，在样品表面获得了五点光谱(图1a)。将样品旋转180˚，并在几乎与之前相同的位置获得5个点光谱(图1b)。平均光谱给出了物质的组成:元素A = 33.5%，元素B = 40.8%，元素C = 25.7%，非常接近认证的浓度。一种测量粗糙表面的简便方法是使用Bruker独特的EDSXFlash^®FlatQUAD探测器。