语言文字
由于X射线可以穿过物质,X射线荧光(XRF)可以测定层的厚度。使用扫描电镜微X射线荧光分析,层分析(厚度和成分)在微米级的空间分辨率下变得可行。层分析强烈基于使用原子基本参数(FP)的量化。它可以通过使用标准样品来改进,因此FP可以研究各种类型的层系统,例如晶圆上的金属化、多金属预处理涂层和太阳能电池。当标准可用时,可以使用它们来提高准确性。但由于FP不需要标准,研发环境中的新型层系统也可以进行测试。层结构,如太阳能电池(图1),在许多行业中都很重要。