用SEM Micro-XRF进行薄膜分析
随着X射线可能通过物质，X射线荧光（XRF）允许确定层厚度。使用SEM上的Micro-XRF，通过在千分尺尺度上的空间分辨率使层分析（厚度和组成）变得可行。层分析强烈基于使用原子基本参数（FP）的定量。可以通过使用标准样品来改进它，因此可以通过FP研究各种类型的层系统，例如晶圆上的金属化，多金属预处理涂层和太阳能电池。当有标准时，可以使用它们来提高准确性。但是，由于FP不需要标准，因此也可以测试研发环境中的新层系统。在许多行业中，层结构（例如太阳能电池）很重要。
图1：太阳能电池的薄膜分析示例。In most cases, the absorber is produced from CIGS-structures, which are Cu-In-Ga-Se or Cu-In-Ga-S compounds.CIGS-Solar细胞通常是通过沉积在玻璃基材上产生的，这些玻璃基板涂有Mo-Layer。与SEM的传统膜厚度分析相比，在横截面模式下测量层，Xtrace可以直接在平面表面上测量SEM的样品，这是一种快速且无损的技术，不需要样品制备。
图2：太阳能电池的微型XRF光谱，显示了来自不同深度的所有相关元件线，甚至MO，其位于样品表面以下约2 µm。请注意，高能Z元素线（例如MO-K和IN-K）可以使用XRF源很容易激发。X射线激发的较大深度可以使材料内部更深地看一看，从而使相对较厚的层甚至多层系统的表征从1 nm开始到40 µm。此外，还将确定CIGS结构的组成。使用无标准的基本参数方法分析了该样本。标准可以应用于提高精度。
