膜厚测定

超薄膜的表面功能化和改性在许多应用领域中发挥着重要作用，如生物污染、传感、防腐、催化等。这使得必须对此类膜进行彻底的研究，以了解和改善膜的生长和功能。使用FTIR光谱对薄膜和涂层进行化学鉴定的方法有很多。

它们是透射率、衰减全反射（ATR）、加厚角反射（GIR）或红外反射吸收光谱（IRRAS）、偏振调制IRRAS(皮米拉斯)。根据薄膜厚度、光学特性和支撑基板，可优先采用不同的测量模式。

由于X射线可以穿透物质，X射线荧光（XRF）可以测定层的厚度扫描电镜微X射线荧光分析，层分析（厚度和成分）在微米级的空间分辨率下变得可行。层分析强烈基于使用原子基本参数（FP）的量化。它可以通过使用标准样品来改进，因此FP可以研究各种类型的层系统，例如晶圆上的金属化、多金属预处理涂层和太阳能电池。阅读更多

所有材料必威手机客户端在低于某一临界角的情况下都表现出X射线的全反射，反射强度几乎与直射光束一样大。当测量X射线反射计（XRR）时，随着入射角的增加，穿透材料会导致反射强度急剧下降。因此，XRR数据可以跨越多个数量级。XRR是一种快速、无损地测量薄膜涂层、多层膜和超晶格厚度、粗糙度和密度的方法。该信息可从镜面干涉图案中提取，并允许对晶体和非晶薄膜进行表征。

氮化镓（GaN）基材料的表征通常采用无损X射线计量法。GaN及其In/Al等效物是一类主要的宽带必威手机客户端隙半导体，以几纳米到微米的薄膜外延层的形式应用于许多新器件的衬底上，如高电子迁移率晶体管（HEMT）、发光二极管（LED）、激光二极管和太阳能。器件性能通常与堆叠顺序、层厚度、晶体结构和化学成分有关。这些特性可以使用高分辨率X射线衍射（HRXRD）和诸如X射线反射率（XRR）、倒易空间映射（RSM）和高分辨率摇摆曲线（RC）等技术进行研究。