放牧发病率在1987年引入了小角度散射(GI-SAX),以探测表面和近表面状态的结构细节。在临界角度以下,入射光束会经历总外部反射,散射信号来自空气样品界面下方的前几个易曲线的结构排列。增加入射角会导致入射光束的穿透深度逐渐增加。反过来,这导致散射体积增加,从而增加表面敏感的散射信号。如果此入射角比临界角度大,则穿透深度会大大增加。最后,体积敏感的散射信号变为主导,表面敏感的信号消失。因此,入射角的变化可用于非破坏性深度分析。这种物理现象还用于X射线反射率(XRR)测量,该技术广泛用于确定垂直于表面正常状态的薄无定形和晶体层的粗糙度,周期性和厚度。与XRR相反,GI-SAXS测量提供了有关平面相关性和粗糙度的更多直接信息,这都是多层涂层表征的重要参数。
放牧的发射率小角度X射线散射(GI-SAXS)是一种将放牧入射率几何形状的表面敏感性与散射范围结合的技术,该范围探测了小角度区域,该区域在表面层中提供了有关纳米结构和纳米颗粒的信息。散射是在2D检测器上收集的,因为它可以访问横向和垂直纳米结构。