二硫化钼样品中重叠峰的自动谱峰剥离和量化

二硫化钼(金属氧化物半导体_2）是一种工业上重要的材料，因为它是钼的主要矿石。它具有广泛的应用，例如汽车和机械加工的固体润滑剂，化学工业的催化剂，半导体工业的间接带隙材料。
EDS光谱中具有强重叠峰的材料的解卷积和定量一直是分析方面的难点。金属氧化物半导体₂中硫的K线与钼的L线具有强烈峰重叠。我们使用XFlash^®FlatQUAD,布鲁克一种特殊的高性能EDS探测器获得二硫化钼的EDS点分析能谱(图1所示)。使用布鲁克的ESPRIT2分析软件对光谱进行解卷积和定量。思捷环球强大的解卷积和拟合方法能够正确识别和拟合各个峰值的重叠情况（图 2，图 3）。能谱的无标样定量使莫和年代的原子浓度非常接近测量浓度。