MoS2中峰值重叠的自动反褶积和量化

图1 MoS2的SEM图像和点光谱

二硫化钼(金属氧化物半导体2是一种重要的工业必威东盟体育材料,因为它是钼矿的原生矿石。它有广泛的应用,如在汽车和机械加工中作为干润滑剂,在化学工业中作为催化剂,在半导体工业中作为间接带隙材料。
反褶积和量化在EDS光谱中具有强峰重叠的材料一直是一个分析挑战。必威手机客户端金属氧化物半导体2硫(S)的k线与钼(Mo)的l线强烈重叠。我们使用XFlash®FlatQUAD,由Bruker公司研制的一种特殊的高性能EDS探测器,用于获取MoS的EDS点光谱2如图1所示。利用Bruker的ESPRIT 2分析软件对光谱进行反卷积和量化。思捷环球其强大的反褶积和拟合方法能够正确地识别和拟合单个峰重叠(图2、图3)。光谱的非标准量化使Mo和s的原子浓度非常接近化学计量浓度。