Phemt表征

HRXRD已很好地确定用于测量ePi层。这Bruker Qcvelox-e是EPI监测的艺术领导者的状态，并在复合半行业中广泛使用。一个关键应用程序是在用于RF设备的Phemt结构中监视Epi层。这些结构包含INGAAS，ALGAAS和GAAS层的组合，并且单个组成和厚度对性能至关重要。使用HRXRD允许在几分钟内精确确定这些参数，并进行全自动测量和RADS分析。

可选的SECS-GEM工厂主机软件和机器人加载可用于完成系统的自动化。

组成，应变状态和层厚度是确定半导体设备（如Hemts或激光结构）的性能的关键参数。
高分辨率X射线衍射是确定这些参数具有最高精度的选择分析方法。

Bruker的XRD旗舰解决方案D8 Discover家族配备了领先的技术X射线源和检测器，高分辨率光学元件和样品阶段，可允许大型晶圆映射。
这D8发现将XRD性能与易用性相结合。自动测量和分析程序使其成为研究和过程开发中半导体异质结构的完美解决方案。