pHEMT表征

HRXRD可用于外延层的测量。这个布鲁克QCVelox-E是epi监测领域最先进的领导者，广泛应用于复合半工业。一个关键应用是监测射频器件用pHEMT结构中的外延层。这些结构包含InGaAs、AlGaAs和GaAs层的组合，单个成分和厚度对性能至关重要。使用HRXRD可以在几分钟内精确确定这些参数，并执行全自动测量和RADS分析。

可选的SECS-GEM工厂主机软件和机器人加载可用于完成系统的自动化。

成分、应变状态和层厚度是决定HEMT或激光结构等半导体器件性能的关键参数。
在以尽可能高的精度确定这些参数时，高分辨率X射线衍射是首选的分析方法。

Bruker的XRD旗舰解决方案D8 DISCOVER系列配备了领先技术的X射线源和探测器、高分辨率光学元件和样品台，可用于大型晶圆映射。
这个D8发现结合XRD性能和易用性。自动测量和分析程序使其成为研究和工艺开发中半导体异质结构的完美解决方案。